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                        服务支持
                        
      
                        
         
        
                        
                    
                        服务理念
                        
        
                        
        
        
                        
                    
                        常见问题
                        
        
                        
        
        
                        
                    
                        服务优势
                        
        
                        
             
                        
      
                        
      
    
                                
                        
            
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                        光掩膜基本品质检验？
                        
                    
                        时间：2021-04-08 16:12:01 点击：次
                        
                    
                        光掩膜基本品质项目

                        1.  外观品质
                        （缺陷、异物、光学浓度不足、透射率不足、划伤、顶伤等）

                        2.  图形尺寸精度（CD精度）
                        （也称为短尺寸精度，包括绝对精度、CD均匀性、CD线形等）

                        3.  图形位置精度（Registration精度）
                          ◆   图形总长精度（TP精度，也称为长尺寸精度）
                          ◆   图形套合精度（Overlay精度）
                          ◆   图形居中精度（Centrality精度）

                        
                    
                          
                
                        
                 
                
                        
                   
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                        备案号：粤ICP备2021039024号
                        

                        
 


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